En slags MEMS mikro-varmplate basert på lateral kompositt dielektrisk film og dens produksjonsmetode

En slags MEMS mikro-varmplate basert på tverrgående kompositt dielektrisk film og dens produksjonsmetode

teknisk felt

1. Foreliggende oppfinnelse vedrører det tekniske feltet av mems, spesielt en mems mikrovarmeplate basert på en tverrgående kompositt dielektrisk film og en fremstillingsmetode for denne.

Bakgrunnsteknikk:

2. Mikrokokeplater basert på mems-prosessen har vist seg å ha fordelene med miniatyrisering, lavt strømforbruk, rask termisk respons og enkel integrasjon, og er mye brukt i mikrogasssensorer, mikrogassstrømmålere, infrarøde emittere , og mikrotermometre. For eksempel, når en mikrovarmeplate brukes til en mikrogasssensor, påvirkes ytelsen til mikrogasssensoren av dens driftstemperatur og mekaniske stabilitet. Vanligvis må mikrovarmeplaten som brukes til en mikrogasssensor gi en jevn temperatur på 150 grader til 400 grader og god. Den mekaniske stabiliteten til mikrovarmeplaten krever at oppvarmingshastigheten til mikrovarmeplaten er rask og jevnt fordelt. For å bli integrert i mobile enheter, må mikrokokeplater redusere strømforbruket så mye som mulig og gi en passende temperatur, samtidig som de opprettholder god temperaturuniformitet, mekaniske egenskaper og oppvarmingshastighet, som har blitt et hot spot innen forskning på mikrokokeplater.

3. Den plane mikrovarmeplaten for strømmeme bruker vanligvis sio2, si3n4 eller sio2, si3n4 filmer kombinert i en vertikal retning for å danne et støttelag og et dielektrisk lag. Imidlertid er den lave termiske ledningsevnen til mikrovarmeplaten ved bruk av bare sio2-materiale lett å øke varmetapet og forårsake termisk deformasjon ved høy temperatur. Mikrovarmeplaten som kun bruker si3n4-materiale kan lindre den termiske deformasjonen ved høy temperatur og øke oppvarmingshastigheten, men den høye varmeledningsevnen Egenskapene til sio2 og si3n4 fører til en økning i sideveis varmetap, og deformasjonen av varmeplaten sammensatt av sio2 og si3n4 filmer kombinert i vertikal retning reduseres, men det laterale varmetapet eksisterer fortsatt. Disse faktorene fører til et større varmeledningstap og høyere strømforbruk for mikrokokeplaten av flat type enn mikrokokeplate av hengebrotype. Imidlertid er de alvorlige problemene med mikrovarmplaten av hengebrotype stor deformasjon, lett skade og inkompatibilitet med andre prosesser i det senere stadiet, noe som resulterer i lavt utbytte, lav stabilitet og pålitelighet av klargjøring av enheten basert på denne typen mikro - kokeplate.

Kontakt oss:

Email: zhang@pride-cnc.com

Tlf: pluss 86-755-23699351

Mob: pluss 8618666663894