Tredimensjonal emballasjeenhet av MEMS-sensor og tredimensjonal emballasjemetode og prosessteknologi-realiseringselementer

Tekniske implementeringselementer:

5. Det tekniske problemet som skal løses ved den foreliggende oppfinnelse er: for å overvinne manglene ved kjent teknikk, er det tilveiebrakt en tredimensjonal innpakningsanordning for mems-sensoren.

6. Den tekniske løsningen tatt i bruk av den foreliggende oppfinnelse for å løse de ovennevnte problemene er: en tredimensjonal emballasjeanordning for en mems-sensor, omfattende en arbeidsbenk, og et spor er fast anordnet på toppen av arbeidsbenken, og sporet er anordnet parallelt med venstre og høyre retning, og sporet En linse er anordnet like over toppen, og linsen er fast koblet til arbeidsbordet, en substrattransportanordning og en renseanordning er anordnet på banen, en monteringsanordning er anordnet over skinnen, og monteringsanordningen er plassert på høyre side av rengjøringsanordningen. side;

7. Plasseringsanordningen inkluderer en dispenseringsmekanisme, en sugemekanisme og to translasjonsmekanismer. De to translasjonsmekanismene er plassert på henholdsvis forsiden og baksiden av linsen. Dispenseringsmekanismen og sugemekanismen fordeles med bevegelsen til de to translasjonsmekanismene. delforbindelse, leiligheten

Kontakt oss:

Email: zhang@pride-cnc.com

Tlf: pluss 86-755-23699351

Mob: pluss 8618666663894